发布于：2007/12/17 16:32:35 | 1029 次阅读
KLA-Tencor公司12月14日推出了WaferSight 2，这是半导体行业中个让晶片供应商和芯片制造商能够以 45nm 及更小尺寸所要求的高和工具匹配度，在单一系统中度量裸晶片平面度、形状、卷边及纳米形貌的度量系统。凭借业界的平面度和纳米形貌测量，加之更高的工具到工具匹配度，WaferSight 2 让晶片供应商能够率先生产下一代晶片，并让集成电路制造商对未来晶片质量的控制能力更具信心。
的光刻系统供应商的研究表明，在 45nm 工艺中，晶片平面度的细微差异会消耗高达 50% 的关键光刻焦深预算。在 KLA-Tencor 公司 WaferSight 1 系统占据市场地位的基础上，WaferSight 2 系统能够实现更严格的裸晶片平面度规格，并帮助芯片制造商战胜焦深挑战，其快速的新一代 45nm 平面度测量功能将让晶片制造商和集成电路公司双双获益。
KLA-Tencor 的成长与新兴市场副总裁 Jeff Donnelly 表示：“在 45nm 及更小尺寸级别，晶片平面度、形状及表面形貌的差异对制程区段、光刻优率及其它制造工艺的影响更大。与先前的 ADE Wafersight 1 相比，新型 WaferSight 2 系统具备更佳的光学与测量隔离，可实现更高的分辨率、匹配率和度，不仅能帮助晶片制造商大幅提升其制造规格，以满足 45nm 的要求，还能让芯片制造商测量将要使用的晶片，以确保生产的工艺质量。同时，这套系统的产能可降低运营成本，并提高效率。”
纳米形貌控制已成为 45nm 节点的关键，因为它是化学机械研磨 (CMP) 中缩小制程极限的根本，且会引起光刻中的微距量测 (CD) 差异。新型 WaferSight 2 具备业界的纳米形貌测量性能和更高，并且是个以单一非破坏性测量方式进行前后两面纳米形貌测量的系统。
WaferSight 2 将平面度和纳米形貌测量合并在一个系统上，与多工具解决方案相比，可缩短周期时间，减少在制品 (WIP) 的排队与移动时间，缩小所占空间，并提高设施的使用效率。WaferSight 2 还可与 KLA-Tencor 的数据管理系统 FabVision® 无缝结合，形成一套可离线分析存档数据或当前度量数据的完整解决方案，并可提供完全自定义的图表和报告。
WaferSight 2 测试现场合作伙伴 Soitec 公司的 SOI 产品平台副总裁 Christophe Maleville 表示：“我们对 WaferSight 2 系统的评估表明，这套工具的所有测量模式在同类产品中均具备性能，可提供卓越的长期重复能力与测量稳定性。Wafersight 2 系统的先进性能使其适合于新一代 45nm 生产，且在评估测试阶段和实际生产中，均表现出的稳定性。WaferSight 2 度量系统已被接受用于硅和 SOI 生产，且将成为 Soitec 以后晶片几何度量的一个关键系统。”
WaferSight 2 技术概要
集成电路 (IC) 制程中的平面度、卷边和纳米形貌测量的重要性
平面度
在 45nm 节点，先进的光刻光学技术可将焦深缩小到 100~150nm。更小的焦深对晶片上平面度变化的容差要求更为严格，因此，对于每个更小的技术节点，必须更严格地控制晶片平面度与形状参数。WaferSight 2 可以胜任 45nm 生产，因为它具备次纳米级平面度测量，且其工具到工具匹配度比 WaferSight 1 提高了 200%。此业界性能可帮助晶片制造商提高优率，并帮助芯片制造商降低对所要使用晶片的不确定性与风险。
卷边
晶片邻近边缘区域（定义为从边缘开始 1mm 至 5mm 的范围内）的几何一致性是制造过程中的一个新挑战，这是因为，与晶片的中心相比，邻近边缘区域存在各种加工差异。由此产生的形状或厚度差异称为卷边 (ERO)。卷边会严重影响在最外层区域的光刻焦点控制及该区域的化学机械研磨 (CMP) 一致性。
WaferSight 2 的 ERO 测量可提供所需的准确数据，有助于控制晶片边缘区域的卷边效应，并提高晶粒优率。使用 WaferSight 2 可对角度 ERO 差异进行定量分析，晶片供应商之间，以及晶片和晶片内部之间的差异在 ERO 数据中一目了然。这种 ERO 差异会影响 CMP 中边缘覆膜厚度的一致性，因此，控制晶片 ERO 成为实现预期 CMP 性能的关键。
纳米形貌
纳米形貌是晶片上的纳米级高度差异，它通过测量大约 2mm 至 10mm 的区域得出。国际半导体技术蓝图 (ITRS) 指出，从峰顶到谷底的纳米形貌可能仅有几纳米，因此纳米形貌的会受到测量系统上卡盘效应的影响。WaferSight 2 使用全边缘卡夹的晶片操作系统，在其获取平面度和卷边数据的相同扫描中，会捕捉来自晶片前后两面的无伪差纳米形貌数据，从而消除了卡盘效应。
TME-TransferMultisortElektronikSp.zo.o. 深圳特美意电子贸易有限公司 是波兰TransferMultisortElektronikSp.zo.o.公司在中国设立的子公司。 2018年在深圳成立，是TME公司在亚洲的第一个子公司，主要负责TME在中国大陆、中国香港和中国台湾市场的业务及市场拓展。 TME波兰总公司始创于1989年 初是两兄弟开设的电
0215jiejie
|
发布于：2024-12-17
0评论
0赞
近年来智能网联汽车快速发展，新技术不断涌现，与相关产业融合度持续提升，正在推动全球汽车产业发生深刻变革。为应对此种形势，欧、美、日等汽车工业发达国家和地区都加大了智能网联汽车的国际标准法规协调的参与力度，在联合国世界车辆法规论坛(UN/WP.29)和国际标准化组织(ISO)层面，智能网联汽车相关国际标准法规协调活动正快速推进。 为更有效地支撑上述组织的国际标准法规协调活动，2017年全国汽车标准
0215jiejie
|
发布于：2022-12-01
0评论
0赞
据苹果官网，苹果推出搭载M2芯片的新款iPadPro。 11英寸wifi版起售价为799美元，wifi+蜂窝网络版起售价为999美元；12.9英寸wifi版起售价为1099美元，wifi+蜂窝网络版起售价为1299美元。
0215jiejie
|
发布于：2022-10-19
0评论
0赞
全球五大车展之一巴黎车展时隔四年再度启幕。在这场被视为“全球汽车行业风向标”的盛会上，国内外汽车品牌云集，长城汽车、比亚迪等再次领衔中国汽车出海。 长城汽车欧洲区域总裁孟祥军表示：“欧洲是长城汽车最重要的海外市场之一，巴黎车展是长城汽车向欧洲市场展示GWM品牌和产品的最佳机会。长城汽车正在研究汽车行业碳排放的整个生命周期，到2025年，将推出50多款新能源产品，全力支持可再生能源使用，为全球用户
0215jiejie
|
发布于：2022-10-19
0评论
0赞
针对通配烟弹厂商的一系列诉讼的结果，将对生产通配烟弹的品牌未来在电子烟行业的发展产生深远影响。 10月1日，《电子烟强制性国家标准》正式实施，中国电子烟监管全面生效。而在电子烟行业进入规范化、法治化阶段前夕，一场围绕着通配烟弹的争论在行业里发酵。 “通配”是电子烟从业者约定俗成的概念。换弹式电子烟由烟杆和烟弹组成，“通配”烟弹指的是非品牌商生产、可与品牌烟杆匹配使用的烟弹。多位业内人士表示，被
0215jiejie
|
发布于：2022-10-19
0评论
0赞
采用金属感应引脚，专用于大电流应用中进行精确测量 全新分流电阻器专为电池管理系统、大电流工业控制和电动汽车充电站 提供高可靠性、高成本效益的解决方案 美国柏恩Bourns全球知名电子组件领导制造供货商，宣布新增12款CSM2F系列功率分流电阻器，扩展其产品组合。全新系列采用铆接通孔金属传感引脚，可满足大电流应用中对电压测试点精确定位日益增长的需求。最新型Bourns?CSM2F系列分流电阻器
0215jiejie
|
发布于：2022-10-18
0评论
0赞
元宇宙是个筐，啥都往里装，但区别在于有的像聚宝盆，有的像垃圾桶。国庆假期刚结束，中青宝“90后”董事长李逸伦便亲自上阵，玩起了元宇宙婚礼。靠着老板首秀和代言，中青宝顺势推出“MetaLove元囍”App，正式进军元宇宙婚礼赛道。 就产品而言，如同其他元宇宙产品，李逸伦的元宇宙婚礼“新奇与吐槽齐飞”：有人说是有趣的尝试，有人则认为像QQ炫舞结婚系统。要知道，QQ炫舞是一款推出了十余年的老游戏。
0215jiejie
|
发布于：2022-10-13
0评论
0赞
截至8月末，中国5G基站总数达210.2万个，中国5G发展已经进入下半场。随着5G加速融入千行百业，互动直播、vCDN、安防监控等场景率先大规模落地，车联网、云游戏、工业互联网、智慧园区、智慧物流等场景也快速走向成熟，这些更大流量、更低时延、更高性能的场景涌现，对边缘计算的刚性需求势必爆发。 GrandViewResearch预测，即使在新型冠状病毒肺炎疫情肆虐全球的背景下，边缘计算和5G网络市
0215jiejie
|
发布于：2022-10-13
0评论
0赞
商务部回应美商务部升级半导体等领域对华出口管制并调整出口管制“未经验证清单”
商务部新闻发言人10日就美商务部升级半导体等领域对华出口管制并调整出口管制“未经验证清单”应询答记者问。 有记者问：近日，美国商务部在半导体制造和先进计算等领域对华升级出口管制措施。同时，在将9家中国实体移出“未经验证清单”过程中，又将31家中国实体列入，请问中方对此有何回应？ 对此，商务部新闻发言人回应称，中方注意到相关情况。首先，通过中美双方前一阶段共同努力，9家中国实体zui终
0215jiejie
|
发布于：2022-10-13
0评论
0赞
今年1月，奔驰带来了VISIONEQSS概念车，其中控台采用了一块完全无缝的47.5英寸曲面显示屏，横贯整个A柱，令人印象深刻。今天，TCL华星正式官宣与奔驰达成合作，并认领了VISIONEQSS上这块全球首款横贯整个A柱曲面的车载显示屏。 根据TCL介绍，这款显示屏采用了完全无缝的超薄一体化设计，将仪表盘、中控与副驾娱乐显示融为一体，并能够与3D实时导航系统相辅相成。 同时，这块显示屏还采用
0215jiejie
|
发布于：2022-10-12
0评论
0赞
//评论区